無油微型真空泵應用特點
點擊：3068 日期：2019-09-11
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微型真空泵系統集成化，不使用電動機驅動，增加了電子控制系統讓整個真空泵的控制完全擺脫了人工操作實現了液體傳輸的精準，真正意義上實現了微型化和智能化產品，所以又被稱為電子氣泵，微型真空泵。還被稱為，微型負壓泵， 微型真空泵， 微型氣體循環泵，微型氣泵，微型氣體采樣泵，微型打氣泵，微型抽氣泵，微型抽氣打氣兩用泵等。
電子半導體行業中的電子加速、光電器件、電子材料、射線管、晶振、繼電器、激光、離子注入設備、離子刻蝕機、化學氣相沉積設備、物理氣相沉積設備、分子束外延設備、集成電路封裝、等其他半導體應用設備。均在蒸發，濺射，PECVD，真空干法刻蝕，真空吸附，測試設備，機械手，自動化真空清掃等等鍵合工序里所需用的真空為（中高真空）；清掃真空（粗真空）；工藝真空（粗真空）。部份還有要求真空泵向被抽空間內的返流為零，以保護工件免受污染。
微型真空泵壽命長，體積更小，重量更輕，結構更加合理。完全實現了免維護，而且泵內無油，不污真空泵染傳輸介質，比其他泵符合電子半導體行業要求。
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