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　　技術要求不太復雜(za)，容易制造(zao)，其(qi)結構(gou)示意(yi)圖(tu)見(jian)圖(tu) 24 。 

　　圖(tu)24：活塞式示(shi)意(yi)圖(tu)

　　該泵(beng)的外形(xing)呈扁方(fang)形(xing)，是由(you)四(si)個階梯(ti)形(xing)活塞(sai)及四(si)個階梯(ti)形(xing)氣缸組成。與電(dian)機直聯(lian)的軸通過(guo)四(si)根連桿帶動四(si)個活塞(sai)。活塞(sai)的背面空間由(you)次級活塞(sai)抽氣，以(yi)減少泄漏和降低極(ji)限壓力。

　　每個(ge)氣(qi)(qi)缸都(dou)有進氣(qi)(qi)閥(fa)(fa)與排(pai)氣(qi)(qi)閥(fa)(fa)。四(si)個(ge)活(huo)塞組成三個(ge)壓縮(suo)級，為了增加抽(chou)速，活(huo)塞 1 和活(huo)塞 2 是并(bing)聯的(de)，為了便于泵(beng)在大(da)氣(qi)(qi)壓力(li)下的(de)啟動，設置了輔助(zhu)排(pai)氣(qi)(qi)閥(fa)(fa) 1 ，當(dang)活(huo)塞 l 、 2 的(de)排(pai)氣(qi)(qi)壓力(li)高于大(da)氣(qi)(qi)壓力(li)時，有一部分氣(qi)(qi)體(ti)通過閥(fa)(fa) 1 排(pai)入大(da)氣(qi)(qi)，當(dang)其排(pai)氣(qi)(qi)壓力(li)低(di)于大(da)氣(qi)(qi)壓力(li)時，則排(pai)出(chu)氣(qi)(qi)體(ti)依次進入第(di)三個(ge)、第(di)四(si)個(ge)氣(qi)(qi)缸壓縮(suo)后排(pai)出(chu)泵(beng)外。泵(beng)的(de)壓縮(suo)比可達到 105 ，泵(beng)的(de)極限壓力(li)可達 1.3Pa 。

　　泵氣缸(gang)的內表面襯有聚合(he)材(cai)料，以降低摩擦系數與(yu)磨(mo)損。這種泵的功率消耗低，散(san)熱條件較好，不需要冷(leng)卻水。